> Offres de formation > Offres de thèses

Influence des propriétés physiques des matériaux sur leur mécanisme de fracture

Défi technologique : Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique (en savoir +)

Département : Département des Plateformes Technologiques (LETI)

Laboratoire : Laboratoire

Date de début : 01-10-2021

Localisation : Grenoble

Code CEA : SL-DRT-22-0573

Contact : frederic.mazen@cea.fr

Une des activités du laboratoire concerne le développement de la technologie Smart-CutTM, en partenariat avec la société SOITEC. La technologie Smart-CutTM est une technique originale de report de couches minces. Elle est basée sur l'implantation d'ions légers, le collage par adhésion moléculaire du substrat implanté sur un substrat support, et le traitement de fracture provoqué au niveau de la zone implantée. Cette technique est bien maîtrisée et elle permet, entre autres, la fabrication industrielle de plaquettes SOI (Silicon On Insulator). Ces dernières années, nous avons réalisé des progrès importants sur la compréhension des mécanismes fondamentaux impliqués dans l'étape de fracture de la technologie Smart CutTM . Ils ont été en grande partie permis par la mise en ?uvre de techniques de caractérisations originales et développées en interne pour adresser cette problématique. Jusque ici, ces études ont été réalisées essentiellement sur des structures en silicium. Néanmoins, la technologie Smart-CutTM est utilisée pour fabriquer des substrats avancés par report de divers matériaux (LiTaO3, Ge, SiC, etc?..) Dans le cadre de la thèse, nous proposons d'étudier le mécanisme de fracture dans ces différents matériaux. L'objectif sera de généraliser les modèles physiques développés pour la fracture du silicium à d'autres matériaux. L'étudiant mettra en ?uvre différents types de caractérisations pour étudier la fracture dans des structures intégrant les matériaux d'intérêt. Plusieurs techniques de microscopie et de spectrométrie seront utilisées pour étudier la croissance des défauts d'implantation jusque à la fracture ainsi que l'état post fracture. La dynamique de la fracture dans ces matériaux sera étudiée grâce à des bancs optiques dédiés.

Voir toutes nos offres Télécharger l'offre (.zip)

Email Bookmark and Share