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CRYO Back-end of line pour les applications quantiques

Défi technologique : Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique (en savoir +)

Département : Département des Plateformes Technologiques (LETI)

Laboratoire : Labo Support et Interface Techno

Date de début : 01-09-2022

Localisation : Grenoble

Code CEA : SL-DRT-22-0583

Contact : roselyne.segaud@cea.fr

La fabrication des Qbits de spin et supraconducteurs demande la mise en place d'un routage métallique à courte distance (Back-end of line ? BEOL) et localisé compatible en radiofréquence et fonctionnant à très basse température (au-dessous de la TC). Il existe à ce jour des intégrations BEOL basées sur des matériaux supraconducteurs (Nb) dont l'architecture et les procédés ne sont pas adaptés aux exigences des n?uds avancés (technologies 28/45 nm). L'objectif est de mettre en place les procédés, une intégration innovante et d'étudier les comportements électriques à haute et basse température. Il s'agira d'évaluer différents matériaux supraconducteurs compatible aux exigences d'intégration et aux contraintes basses températures. Le travail de thèse va se dérouler en 2 temps en commençant par le développement d'une gravure métallique qui requière des études de surface, d'interface jusqu'aux comportements lors de l'intégration des procédés dans la brique Back-end of line en valorisant une l'approche innovante du brevet DD21807/FR2112216. Dans un second temps, les études porteront la physique mésoscopique, les effets de confinements et de transport dans ces interconnections à température ambiante mais surtout aux températures cryogénique de fonctionnement.

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