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Développement de matériaux et de procédés pour les substrats RFSOI

Défi technologique : Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique (en savoir +)

Département : Département des Plateformes Technologiques (LETI)

Laboratoire : Laboratoire

Date de début : 01-09-2022

Localisation : Grenoble

Code CEA : SL-DRT-22-0585

Contact : shay.reboh@cea.fr

Les composants RF sont largement utilisés pour les technologies de communication. En particulier, les substrats RF-SOI fournissent des modules et des connexions de haute qualité nécessaires pour répondre aux exigences de la 4G et des futurs réseaux (5G) pour des transmissions de données plus rapides et plus fiables. En particulier, pour les dispositifs ayant des besoins élevés en linéarité, une couche riche en pièges est ajoutée sous l'oxyde enterré. Le candidat au doctorat développera une étude exploratoire de nouvelles structures riches en pièges permettant d'améliorer leur performance et/ou leur fabrication. L'étude pourra inclure des intégrations au niveau du substrat et/ou au niveau du dispositif. Le candidat sera chargé de mener une étude comprenant : (i) la fabrication de couches riches en pièges (basée sur des développements en cours au LETI) ; (ii) la caractérisation de la performance RF des structures, et ; (iii) la caractérisation des matériaux/structures (AFM, SEM, XRD, TEM...). Le résultat attendu est une meilleure compréhension de la physique des nouvelles couches riches en pièges (idéalement avec modélisation). Les données recueillies pourraient permettre d'apporter des améliorations et/ou de valider des options technologiques. Les candidats doivent avoir une formation en semi-conducteurs et en science des matériaux.

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