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Effet de catalyse dans les mécanismes de collage direct

Défi technologique : Matériaux et procédés émergents pour les nanotechnologies et la microélectronique (en savoir +)

Département : Département des Plateformes Technologiques (LETI)

Laboratoire : Laboratoire

Date de début : 01-10-2022

Localisation : Grenoble

Code CEA : SL-DRT-22-0612

Contact : vincent.larrey@cea.fr

Le but de cette étude est d'étudier en détails l'impact de l'addition intentionnel de molécules spécifiques à l'interface de collage comme des amino-alcool ou des bases fortes. Leur mise en ?uvre avec des interfaces de différents matériaux permettra de préciser l'ensemble des mécanismes de collage desdits matériaux. Une combinaison avec l'activation plasma sera aussi au centre de cette études. Plusieurs axes seront donc mises en ?uvre: Une partie de l'étude consistera à caractériser finement la quantité de molécules à la surface suivant différents modes de déposition (vapeur, centrifugation). En parallèle, un autre axe de cette étude sera de quantifier l'impact de ces molécules sur les mécanismes de collage de différents matériaux (SiO2, Si3N4, AlN, InP, AsGa...). Un dernier axe sera de faire varier la quantité d'eau interfaciale avec des collages réalisée sous différentes atmosphères et/ou avec une activation plasma préalable. Ce dernier axe permettra de chercher la quantité optimal d'eau dans ces condition spécifique en espérant la réduire au minimum. Le candidat sera formé à l'ensemble des outils technologiques permettant la réalisation de collages directs (nettoyages chimiques, CMP, collage, recuits thermiques) et leur caractérisation (spectroscopie infrarouge, microscopie acoustique, mesure d'énergie de collage anhydre, réflectivité des rayons X, spectroscopie de masse...).

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