{"id":12025,"date":"2025-10-15T09:00:13","date_gmt":"2025-10-15T07:00:13","guid":{"rendered":"https:\/\/talentimpulse.cea.fr\/post-docs\/diagnostic-des-effluents-gazeux-dun-reacteur-de-gravure-par-plasma-pour-developper-des-proceces-plus-eco-responsables-en-microelectronique\/"},"modified":"2026-05-25T09:00:09","modified_gmt":"2026-05-25T07:00:09","slug":"analyse-des-effluents-gazeux-pour-des-procedes-de-gravure-plasma-plus-eco-responsables","status":"publish","type":"post-docs","link":"https:\/\/talentimpulse.cea.fr\/en\/post-docs\/analyse-des-effluents-gazeux-pour-des-procedes-de-gravure-plasma-plus-eco-responsables\/","title":{"rendered":"Analyse des Effluents Gazeux pour des Proc\u00e9d\u00e9s de Gravure Plasma plus \u00c9co-Responsables"},"content":{"rendered":"<p>Les gaz fluor\u00e9s traditionnellement employ\u00e9s, comme le CF4 et le C4F8, ont des potentiels de r\u00e9chauffement (GWP) extr\u00eamement \u00e9lev\u00e9s et une longue dur\u00e9e de vie atmosph\u00e9rique, participant au changement climatique. L\u2019utilisation de gaz alternatifs \u00e0 faible GWP, combin\u00e9e \u00e0 des syst\u00e8mes d\u2019abattements des effluents en sortie de r\u00e9acteur, devrait permettre de concilier performances des proc\u00e9d\u00e9s de gravure plasma et responsabilit\u00e9 \u00e9cologique. Dans ce contexte, vous aurez en charge d\u2019analyser et de caract\u00e9riser par spectrom\u00e9trie de masse les gaz pr\u00e9sents dans un plasma de gravure industriel, et de les comparer \u00e0 ceux pr\u00e9sents \u00e0 la sortie des pompes du r\u00e9acteur et du syst\u00e8me d\u2019abattement. Les principaux objectifs sont de d\u00e9terminer le taux de destruction des gaz fluorocarbon\u00e9s \u00e0 fort GWP utilis\u00e9s dans les proc\u00e9d\u00e9s de gravure au niveau du plasma et des syst\u00e8mes de pompage et d\u2019abattement ains que de proposer des solutions alternatives et innovantes pour minimiser le rejet des effluents gazeux \u00e0 fort GWP.<\/p>","protected":false},"featured_media":0,"template":"","categories":[167],"tags":[],"class_list":["post-12025","post-docs","type-post-docs","status-publish","hentry","category-materiaux-et-procedes-emergents-pour-les-nanotechnologies-et-la-microelectronique"],"acf":[],"aioseo_notices":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/talentimpulse.cea.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/post-docs\/12025","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/talentimpulse.cea.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/post-docs"}],"about":[{"href":"https:\/\/talentimpulse.cea.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post-docs"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/talentimpulse.cea.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=12025"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/talentimpulse.cea.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=12025"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/talentimpulse.cea.fr\/en\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=12025"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}