Couches minces piézoélectriques sans plomb pour les MEMS

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Dans le cadre du projet ANR TILPAC, vous travaillerez au développement de matériaux piézoélectriques sans plomb pour les applications actionneurs MEMS. Les matériaux déposés en couches minces seront intégrés dans des véhicules de test afin dapos;évaluer leurs propriétés (électriques, ferroélectriques, piézoélectriques) et de les comparer à celles du matériau de référence, le PZT, en vue dapos;une intégration dans des dispositifs à lapos;échelle industrielle. Une attention particulière sera également portée sur les aspects impacts environnementaux.

Docteur en Science des Matériaux

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