Etude de contacts ohmiques sur GeSn par réalisation de structures dédiées en salle blanche

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La Direction de la Recherche Technologique, qui sommes-nous ? Plus de 4.000 personnes investies dans les enjeux sociétaux ! Avec sa Direction de la Recherche Technologique (DRT), le CEA agit comme un accélérateur d'innovation au service de l'industrie pour tous les secteurs d'activités, répondant ainsi aux enjeux liés à notre santé, notre sécurité, nos technologies d'information, notre avenir énergétique. CEA Tech Corporate from CEA Tech on Vimeo. Rejoignez-nous en stage!  Cadre et contexte : L’étude de l’obtention d’un contact ohmique via le dépôt PVD d’un métal sur un semi-conducteur est primordial pour l’amélioration des performances des dispositifs microélectroniques. L’évaluation de la résistivité spécifique de contact, valeur caractéristique de sa performance, s’effectue via la mesure de structures TLM (Transfer Length Method). La réalisation de ces structures nécessite une succession de plusieurs séquences dépôt / lithographie / gravure en salle blanche. Ces microstructures sont ensuite mesurées électriquement. La caractérisation d’un échantillon TLM correspond à la mise en oeuvre de plusieurs centaines de mesures I-V entre différents plots de contact. Ce stage se place dans le cadre des études contact métallique sur GeSn. Ce semi-conducteur est utilisé pour des applications optoélectroniques. La fabrication s’effectuera en parallèle dans la salle blanche 300 mm du CEA-Leti et sur la plateforme des technologies amont. L’utilisation des étapes de pré-amorphisation par implantation ionique et de recuit laser dans la brique de fabrication du contact sur GeSn seront évaluées.

Le stage se déroulera au seins des services dépôts et surface/interface de la plateforme technologique salle blanche silicium

Travail demandé : • Recenser par une étude bibliographique l’état de l’art sur les contacts sur GeSn • Comprendre les mécanismes des étapes de pré-amorphisation par implantation ionique et du recuit laser pour l’appliquer au contact sur GeSn • Suivre en salle blanche la fabrication des structures TLM. L’étudiant sera l’opérateur pour la réalisation de certaines de ces étapes • Se former sur la mesure des structures TLM sur prober manuel. • Effectuer le reporting des résultats auprès des encadrants et du département applicatif. Le stage s’effectuera au sein des services dépôt et surface du département des plateformes technologiques. Le profil ciblé est un étudiant curieux et autonome sortant d’une école d’ingénieur ou d’un master en microélectronique, chimie ou physique. La personne sera formée sur de nombreux procédés de la microélectronique, une expérience qui sera valorisable pour la recherche d’un emploi ou d’une thèse par la suite. Rejoignez-nous, venez développer vos compétences et en acquérir de nouvelles ! Vous avez encore un doute ? Nous vous proposons : Un environnement unique de recherché dédié à des projets ambitieux au profit des grands enjeux sociétaux actuels. Une expérience à la pointe de l’innovation, comportant un fort potentiel de développement industriel, Des moyens expérimentaux exceptionnels et un encadrement de qualité, De réelles opportunités de carrière à l’issue de votre alternance Un poste au cœur de la métropole grenobloise, facilement accessible via la mobilité douce favorisée par le CEA, Un équilibre vie privé – vie professionnelle reconnu, Une épargne entreprise abondée par le CEA, Une politique diversité et inclusion, Un CSE actif en termes de loisirs et d’activités extra-professionnelles. Tous nos postes sont ouverts aux personnes en situation de Handicap. La Mission Handicap du CEA vous accompagne et met en place les aménagements nécessaires à vos besoins spécifiques

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