Le stage s’effectuera au sein du Laboratoire de Lithographie du CEA-LETI dans une équipe dynamique. Le stage consiste à évaluer des formulations de résines bio-sourcée en incorporant des additifs pour améliorer leur performance à l’échelle R&D pour la photolithographie à 248 nm jusqu’au transfert sur Silicium par gravure plasma. Vous vous appuierez sur la forte expertise du CEA-leti et utiliserez principalement les moyens expérimentaux de la Plateforme Technologique Amont (PTA).Vous serez en charge la préparation et la caractérisation des échantillons sur substrat Si avant et après exposition aux UV notamment par des techniques de surface telles que l’ellipsométrie, la microscopie électronique à balayage et microscopie de force atomique. Suite à l’optimisation de l’étape de lithographie, le transfert par gravure plasma des motifs de dimensions sub-micrométriques dans le substrat Si et retrait polymère sera étudié.
Bac+5/École d’Ingénieur ou Université de formation matériaux, chimie ou microélectronique.
Bac+5 - Master 2
Anglais Courant
Talent impulse, le site d’emploi scientifique et technique de la Direction de la Recherche Technologique du CEA
© Copyright 2023 – CEA – TALENT IMPULSE – Tous droits réservés
