Fabrication à l'échelle atomique : Dépôt sélectif localisé (ASD) de TiN H/F

Description de l'offre : Rejoignez-nous en Stage !  CEA Tech Corporate from CEA Tech on Vimeo. En tant que stagiaire au CEA, vous aurez l'opportunité de travailler au sein d'un environnement de recherche de renommée mondiale. Nos équipes sont composées d'experts passionnés et dédiés, offrant un cadre propice à l'apprentissage et à la collaboration. Vous aurez accès à des équipements de pointe et à des ressources de recherche de premier ordre pour mener à bien vos missions. Description du poste : L’objectif de ces travaux est d’étudier l’ASD de TiN déposé par ALD. Une approche consiste à fonctionnaliser la surface avec un inhibiteur de croissance. Les recherches récentes se tournent vers le développement d’inhibiteurs déposés par des techniques sous vide [1,2]. L’un des aspects novateurs de ce sujet est l’utilisation de couches inhibitrices à base de carbone amorphe [3] déposées par PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) pour le dépôt localisé de couches métalliques. Ce stage de 6 mois se déroulera au CEA-LETI, dans le service de dépôt de matériaux avancés. L’étudiant aura accès aux plateformes de réalisation en salle blanche pour les dépôts de couches minces (a-CH PECVD, TiN ALD) et à la plateforme de nanocaractérisation. Des analyses de surface et caractérisations des couches minces (ellipsométrie, FTIR, angle de contact, AFM, XPS, Tof-SIMS) permettront d’identifier la meilleure sélectivité. Pour aller plus loin: [1] https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.8b00017 [2] https://doi.org/10.1116/6.0002248 [3] https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.0c00722 Mots clés : Stage M2 6 mois ; Nanotechnologies ; Matériau couche mince; ALD, PECVD ; Sélectivité, ASD ; Nanocaractérisation

Présentation de l’institut : Laboratoire de dépôts de matériaux avancés En nous rejoignant, vous contribuerez au développement de matériaux couches minces utilisés dans l'industrie française et européenne de demain.

Profil du candidat : Qu’attendons-nous de vous ? Vous préparez un diplôme de niveau Master2 ou école d'ingénieur en Matériaux / Microélectronique / Physique – Chimie Vous êtes force de proposition et faites preuve d'esprit de synthèse, d'autonomie, de rigueur ainsi que d'esprit d'équipe. Rejoignez-nous, venez développer vos compétences et en acquérir de nouvelles !

Diplome préparé : Bac+5 - Master 2

Langues : Anglais Courant