Développement d’algorithmes et d’outils de modélisation pour des mesures de CD-SAXS à basse énergie

Description de l'offre : Le CEA–LETI est un des acteurs Européen principaux de l’industrie des semi-conducteurs. Avec sa plateforme de nano-caractérisation (PFNC) à Grenoble, il dispose dapos;un environnement de pointe avec un vaste éventail dapos;équipements à lapos;état de lapos;art. Nos équipes ont pour vocation d’accompagner le développement de nouveaux outils de caractérisation pour anticiper les besoins industriels (notamment autour des futurs nœuds technologiques). Ainsi, des travaux pionniers ont été réalisés autour du CD-SAXS sur la PFNC ces dernières années. Cette technique de diffusion/diffraction des rayons X permet de mesurer avec une précision sub-nanométrique les dimensions des nano-structures gravées dans les salles blanches du LETI. Dans le cadre de ce projet, nous proposons d’étendre l’approche CD-SAXS en utilisant les récents développements autour des sources basse-énergie de laboratoire (A. Lhuillier et al. 1988, prix Nobel 2023) appelées High Harmonics Generation (HHG) sources. Votre rôle sera de mettre en place les outils dapos;analyse spécifiques au développement de l’approche CD-SAXS à basse énergie. La première preuve de concept a été réalisée en Novembre 2023. Mission: Afin de prendre en compte dans la réduction de données les spécificités de cette nouvelle approche (multi longueur dapos;onde, basse énergie…), votre mission se concentrera sur plusieurs tâches: - Développer différents outils numériques pour le traitement de données : o Simulations éléments finis avec solver Maxwell o Transformée de Fourier analytique (similaire au CD-SAXS)vs théorie dynamique o Comparaison des différentes approches de simulations - Construire et tester des modèles dédiés aux problématiques en lithographie(CD, overlay, rugosité) - Définir les limitations de la technique par des simulations (notamment la résolution spatiale, les incertitudes de mesures); Ce travail viendra compléter le développement expérimental de mesures de CD-SAXS avec une source de laboratoire HHG réalisée en parallèle par un postdoctorant.

Profil du candidat : Master 2 en physique numérique / mathématique appliqué