Etude des modes et des mécanismes de défaillances des commutateurs RF à base de matériaux à changement de phase

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Les commutateurs à base de matériaux à changement de phase (Phase Change Material, PCM) démontrent dapos;excellente performances RF (FOM lt;10fs) et peuvent être cointégrés dans le BEOL des filières CMOS. Leur fiabilité reste cependant très peu étudiée aujourdapos;hui. Des modes de défaillances tels quapos;une rupture du heater, la ségrégation ou lapos;apparition de cavités dans le matériau sont montrés lors de tests dapos;endurance, mais les mécanismes dapos;apparition de ces défaillances ne sont pas discutés. Lapos;objectif de cette thèse sera donc dapos;étudier les modes et les mécanismes de défaillances pour différentes conditions opératoires (endurance, maintien, puissance). Lapos;analyse se fera au travers de caractérisations électriques et physiques et des méthodes de vieillissement accéléré seront mise en œuvre.

Master 2 science des matériaux

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