Extraction de la rugosité de flans de lignes avec une résolution sub-nanométrique

Dans le cadre du Chips Act européen, le CEA-Leti s’engage à accompagner la miniaturisation des composants de la microélectronique demandée pour les futurs nœuds technologiques. L’étude de la rugosité est devenue cruciale car des variations ‘négligeables par le passé’ de quelques Angströms devienne critique (quelques % d’erreur) sur des objets de taille inférieures à 7 nm. Le doctorat s’axera principalement sur l’utilisation de la diffusion centrale de rayons X (CD-SAXS) pour définir la sensibilité de l’approche. Elle sera divisée en deux parties complémentaires: premièrement via des simulations à partir d’outils en cours de développement pour identifier l’impact de cette rugosité sur le signal expérimental et deuxièmement par la conduite de mesures expérimentales sur des échantillons spécialement au CEA-LETI avec des rugosités contrôlées. Les mesures de CD-SAXS seront effectuées sur l’équipement de laboratoire de la PFNC ainsi qu’aux synchrotrons (ESRF et NSLS-II). Ces résultats seront comparés avec ceux obtenus sur les équipements de métrologie en salle blanche du CEA-LETI, telles que les microscopies AFM-3D et CD-SEM. Cette thèse se déroulera en partie sur la Plateforme de Nanocaractérisation du LETI qui offre l’un des plus grands ensembles de techniques d’analyse et de compétences en caractérisation physique et en partie avec les équipes de caractérisation salle blanche du CEA Grenoble.