Laser annealing processes are now used in many applications in most advanced microelectronics technologies. Whether in the context of nanotechnologies (nanometric CMOS components) or in that of 3D integration technologies, the specific characteristics of laser annealing make it possible to reach very high temperatures in very short times, very locally, and to work in conditions out of thermodynamic equilibrium. This has many advantages in terms of thermal budget, but also physical effects on atoms (thermomechanical, diffusion of atoms and electrical activation of dopants). LETI has been developing and studying nanosecond laser annealing (NLA) processes for micro and nanotechnologies for several years. The simulation of local physical effects is one of the pillars of its development. Today, simulations are carried out using dedicated software provided by the manufacturer of the laser annealing equipment. The latter makes it possible to take into account the penetration of laser radiation into the material as well as the effects of thermal conduction in it. Phase change phenomena are also taken into account (liquid and solid phase above the melting temperature). During this internship, we propose to go further in the simulation of laser annealing by using other tools than those currently in place. The use of other tools than that provided by the equipment manufacturer will make it possible to take into account the effects of temperature at the level of atomic physics, atomic diffusion and dopant activation. Part of the internship will be devoted to getting to grips with each tool, then to comparing the results given by each of them in terms of temperature mapping and thickness of molten material. Finally, a calibration of the material data (thermal conduction in particular) will be necessary based on experimental data. This internship will benefit from close collaboration between the simulation, clean room process development and physical characterization teams.
LETI/ Laboratoire de simulation et de modélisation de composants en collaboration avec les équipes techno en salle blanche. En nous rejoignant, vous contribuerez au développement des technologies avancées utilisées dans l'industrie française et européenne de demain.
Qu’attendons-nous de vous ? Vous préparez un diplôme de niveau Bac + 5 dans le domaine des micro et nano technologies. Vous avez un fort intérêt pour la recherche scientifique et technologique. Vous avez déjà des connaissances sur les procédés technologiques de fabrication de composants à l'échelle nanométrique. Vous aimez le travail en équipe et avez de bonne capacité de communication de résultats scientifiques. Rejoignez-nous, venez développer vos compétences et en acquérir de nouvelles ! Vous avez encore un doute ? Nous vous proposons : L'opportunité de travailler au sein d'une organisation de renommée mondiale dans le domaine de la recherche scientifique, Un environnement unique dédié à des projets ambitieux au profit des grands enjeux sociétaux actuels, Une expérience à la pointe de l’innovation, comportant un fort potentiel de développement industriel, Des moyens expérimentaux exceptionnels et un encadrement de qualité, De réelles opportunités de carrière à l’issue de votre stage Un poste au cœur de la métropole grenobloise, facilement accessible via la mobilité douce favorisée par le CEA, Une participation aux transports en commun à hauteur de 85%, Un équilibre vie privée – vie professionnelle reconnu, Un restaurant d'entreprise, Une politique diversité et inclusion. Conformément aux engagements pris par le CEA en faveur de l'intégration des personnes handicapées, cet emploi est ouvert à toutes et à tous. Le CEA propose des aménagements et/ou des possibilités d'organisation pour l’inclusion des travailleurs handicapés.
Bac+5 - Master 2
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