Matériaux SCO par ALD pour les transistors FeFET H/F

Job description: Les transistors ferroélectriques reposent sur l'utilisation combinée des oxydes semiconducteurs SCO à base d'Indium comme matériau de canal et dioxydes métalliques ferroélectriques FE comme matériau de grille. Les matériaux (SCO, FE) déposés par ALD (Atomic Layer Deposition) à des épaisseurs très faibles (<10nm) à basse température (<300°C) sont compatibles avec une intégration microélectronique BEOL. Le stage proposé vise à évaluer les propriétés physico-chimiques, structurales et électriques des couches ternaires IGZO (Indium-Gallium-Zinc oxydes) déposées par ALD et de les comparer à celles déposées par PVD (Physical Vapor Deposition). Le travail du stage sera axé sur deux items principaux: (i)Etude comparative des propriétés intrinsèques et électriques des couches ALD-IGZO et PVD-IGZO: composition, structure, résistivité, mobilité, densité de défaut... (ii)Réalisation et caractérisation de véhicule de test (short loop) intégrant des couches ALD-IGZO Ce stage de 6 mois se déroulera au CEA-LETI, dans le service de dépôt de matériaux avancés. L’étudiant aura accès aux plateformes de réalisation en salle blanche 300mm pour les dépôts de couches minces (ALD, PVD) et à la plateforme de nanocaractérisation. Des analyses de stœchiométrie (XPS, RBS), de structures (GIXRD, TEM) et de mobilité (mesures Hall) permettront de relier les paramètres procédés ALD aux propriétés des couches.

Institute description: A Grenoble, au centre des Alpes, le LETI est un institut de recherche appliquée en micro et nano technologies, technologies de l'information et de la santé. Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés via des programmes de recherche utilisant nos plateformes technologiques.

Your profile: Qu’attendons-nous de vous ? Vous préparez un diplôme de niveau BAC+4, BAC+5 dans le domaine de la microélectronique ou des matériaux et physique et chimie des matériaux. Vous êtes passionné par la recherche scientifique et technologique et êtes reconnu pour votre aisamnce relationnelle, esprit d'équipe et de curiosité scientifique. Vous possédez des connaissances en microélectroniques, techniques de dépôt en couches minces et en physique des matériaux. Rejoignez-nous, venez développer vos compétences et en acquérir de nouvelles ! Vous avez encore un doute ? Nous vous proposons : L'opportunité de travailler au sein d'une organisation de renommée mondiale dans le domaine de la recherche scientifique, Un environnement unique dédié à des projets ambitieux au profit des grands enjeux sociétaux actuels, Une expérience à la pointe de l’innovation, comportant un fort potentiel de développement industriel, Des moyens expérimentaux exceptionnels et un encadrement de qualité, De réelles opportunités de carrière à l’issue de votre stage Un poste au cœur de la métropole grenobloise, facilement accessible via la mobilité douce favorisée par le CEA, Une participation aux transports en commun à hauteur de 85%, Un équilibre vie privée – vie professionnelle reconnu, Un restaurant d'entreprise, Une politique diversité et inclusion, Conformément aux engagements pris par le CEA en faveur de l'intégration des personnes handicapées, cet emploi est ouvert à toutes et à tous. Le CEA propose des aménagements et/ou des possibilités d'organisation pour l’inclusion des travailleurs handicapés.

Level of qualification studied: Bac+5 - Diplôme École d'ingénieurs

Languages: English Intermediate